Hreinleikastjórnun á eirinnréttingum í hálfleiðara sérgreinakerfi
Kynning á hálfleiðara sérgreinakerfi
Hálfleiðari framleiðsluferli krefjast öfgafulls, mjög stjórnaðs umhverfis.
Sérkennisgas afhendingarkerfi gegna mikilvægu hlutverki í ætingu, útfellingu, lyfjamisnotkun og hreinsunarskrefum.
Lofttegundir eins og silan, ammoníak, vetnisklóríð og köfnunarefnis tríflúoríð þurfa hágæða flutningstíga.
Brass innréttingar, þó ekki alltaf fyrsta valið, er stundum beitt í auka línum eða stuðningskerfum.
ViðhaldaEfnafræðilegi hreinleiki og uppbyggingar heilindiaf eirinnréttingum er mikilvægt til að forðast mengun.
Mikilvægi efnishreinleika í hálfleiðara forritum
Hálfleiðarar eru mjög viðkvæmir fyrir óhreinindum á sameindastigi.
Jafnvel hlutar á milljarð (bls.
Það verður að stjórna útlagi, tæringu eða yfirborðsviðbrögðum í gaslínum.
Þetta gerir efnisval og hreinleika stjórnun miðlæga í hönnun gaskerfisins.
Eir, með rétta frágang og gæðaeftirlit, geta uppfyllt þessa staðla í gaslínum sem ekki eru mikilvægar.
Efnissamsetning eir og áhyggjur
Hefðbundið eir er ál af kopar og sinki, sem stundum inniheldur blý eða tin.
Óhreinindi eins og brennistein, fosfór eða leifarolíur geta haft áhrif á hreinleika.
Stranglega er forðast eir í háu blýi í hreinsiefni eða hálfleiðara forritum.
AðeinsLágmark, afskildir ónæmir (DZR)Íhuga ætti eir fyrir slíkt umhverfi.
Framleiðendur verða að útvegaEfnisvottorðStaðfesta samræmi við hálf-, ASTM eða ROHS staðla.
Yfirborðsáferð og kröfur um rafgeymslu
Innra yfirborðsáferð eirinnréttinga hefur mikil áhrif á hreinleika gaskerfisins.
Gróft eða porous yfirborð gildir raka, kolvetni og agnir, sem veldur langtíma mengun.
Til að vinna gegn þessu eru innréttingar oftRafmagnaðTil að ná sléttu, óbeinu innra yfirborði.
Ójöfnur á yfirborði yfirborðs (RA) er venjulega minna en0.2 µmfyrir gasdreifingarlínur.
Eftir polishing, innréttingar gangast undir hreinsun íútfjólubláa leysiefnifylgt eftir með tómarúmi þurrkun og köfnunarefnishreinsun.
Agnastjórnun og umbúðir með hreinsiefni
Brass innréttingar fyrir hálfleiðara gaskerfi verða að uppfylla strangtForskriftir agna.
Allar lausar agnir eða málmflögur geta verið hörmulegar fyrir gasviðkvæmar skífur.
Til að takast á við þetta gangast innréttingarUltrasonic hreinsunNotkun DI vatns og flokks 100 hreinsunarstaðla.
Þegar búið er að hreinsa það eru innréttingarTvöfaldur pokaðurí umbúðum í hreinsiefni til að koma í veg fyrir endurmótun.
Merkimiðar fela oft í sér mikið rekjanleika, hreinsunarupplýsingar um lotu og vísbendingar um raka.
Passivation og húðun fyrir efnafræðilegan stöðugleika
Vegna þess að eir er viðbrögð en ryðfríu stáli, skiptir yfirborðsgeymsla sköpum.
Aðferðir fyrir pasivation fela í sér stjórnað oxun, krómlaus húðun, eðaNikkelhúðun.
Nikkel eða raflaus nikkelhúðun þjóna sem hindrunarlag til að koma í veg fyrir sinklakun eða oxun.
Þessi húðun eykur einnig efnafræðilega eindrægni við lofttegundir eins og HF eða CLF₃.
Regluleg húðþykkt eftirlit og viðloðunarpróf tryggir endingu í þrýstikerfum.
Skoðun, vottun og rekjanleiki
Mikið hreinleika eirinnréttingar verða að líðaFjölþrep skoðunFyrir samþættingu í bensínlínur.
Prófun felur í sér:
Helíum lekaprófun (venjulega<1x10⁻⁹ atm-cc/sec)
Leifagreining (RGA)
Örveru ögn varpunarpróf
XRF eða ICP-MS til að staðfesta efnislega
Hver mátun ætti að vera að fullurekjanlegt með hlutanúmeri, með tilheyrandiConvections Concormance (COC).
Sumar aðstöðu þurfa úttektir á þriðja aðila eða ISO 14644 vottunargögnum.
Umsóknarmörk og val
Þó eir geti uppfyllt hreinleikaskilyrði er notkun þessTakmarkað við ekki mikilvægar slóðirí hálfleiðara Fabs.
Fyrir öfgafullan hreinan hreinleika (UHP) gaslínur,316L ryðfríu stáli með myndbandstæki eða svigrúm suðuer valinn.
Hægt er að nota eirinnréttingar í útblásturskerfi, hreinsunarlínum eðaVinnið kælivatnskerfi.
Þegar það er valið rétt og meðhöndlað á viðeigandi hátt veitir eir hagkvæmar, stöðugar lausnir.
Framfarir í framtíðinni í húðunar- og hreinsitækni geta aukið gagnsemi sína í hálfleiðara forritum.
Niðurstaða
Hreinleikastjórnun í eirinnréttingum fyrir hálfleiðara sérgreinakerfi er bæði flókin og nauðsynleg.
Allt frá efnisvali til yfirborðs frágangs og umbúða hefur hvert skref áhrif á gasgæði.
Þó að eir sé ekki tilvalið fyrir háhyggjuforrit, getur háþróaður meðferð og gæðaeftirlit gert það lífvænlegt á völdum svæðum.
Með ströngri skoðun, passivation og vottun geta þessi innréttingar örugglega stutt næstu kynslóð flísarframleiðsluumhverfis.
Hafðu samband við IFAN
Sími:+86 15088288323
Netfang:sales24-ifan@ifangroup.com
